1. 儀器設備

機電整合與系統控制研究中心之儀器設備包括PCB CO2雷射鑽孔機、Nd：YAG雷射加工系統、晶圓貼合機、花崗岩氣靜壓導軌系統、二倍頻Nd：YAG雷射源、氬離子雷射源、HP雷射干涉儀、光學平台、線性馬達進給系統、Renishaw循圓測試儀、麥克森干涉儀、高速主軸迴轉偏擺測試儀、SCHENCK精密動平衡校正儀、邏輯分析儀、模態測試儀器、PCB鑽孔機主軸、晶圓切割機主軸、雷射教學示範儀、雷射功率計、雷射束輪廓量測儀、電容式位移計、雷射振動干涉儀、原子力學顯微鏡量測組件、影像數位擷取處理系統、振動噪音計等量測設備；壓電致動之精密定位系統、壓電致動元件、加速規輸入模組類比/數位轉化器、超音波接合壓電頭、超音波驅動器、擊鎚、數位訊號處理器(DSP)、線性馬達、混合濺/蒸鍍系統、複合式濺鍍機、真空氣氛高溫熱處理系統、RTA快速退火處理系統、AM1.5模擬光源、I-V量測系統、陽極接合機、精密電鑄機、摩擦配向機、面板切割機、旋轉塗佈機、高溫爐、真空烘箱、UV曝光箱、掃瞄式電子顯微鏡、霍爾量測系統、四點探針、紫外光/可見光光譜儀、光學顯微鏡、微振動雷射光學量測模組、機體結構頻率量測模組、NI ELVIS 虛擬儀控實作平台、NI 直流馬達控制訓練板、DAQ Signal Accessory、FEM分析軟體、色彩分析儀、麥克森干涉儀、示波器、波形產生器、光纖通訊實驗系統模組、CPLD數位電路發展系統、光感測系統實驗模組、標準輻射黑體源、雷射測距儀、彩色數位示波器、光電量測設備、高階數位示波器、個人電腦、驅動控制器電源、微處理器研發平台、剪力量測試驗機、彎曲力矩量測試驗機、材料萬能試驗機、微光機電材料萬能試驗機及動/靜平衡試驗機、精密切割機、研磨機、金相顯微鏡、立體顯微鏡微光機電材料試驗機、可靠度分析、多重物理量耦合有限元素分析軟體、微探針平台、半導體雷射、光電量測設備、電磁量測設備、訊號產生器、數位類比信號示波器、高壓電源供應器、超臨界乾燥機、近景攝影系統、頻譜分析儀、超臨界乾燥機、LABVIEW儀控界面、LIGHT_TOOL光學模擬軟體及COMSOL微機電有限元素分析模組、奈米壓印機台及網路分析儀。