研究方向
整合微小光學元件設計和微感測元件感測技術，建立基本實驗設備與光學量測平台
著重在微小光電整合系統研究與應用
微光機電的介紹
整微光機電系統技術(Micro Optical Electro-Mechanical System, MOEMS)是一種結合光、機、電、材、控制、物理、生醫、化學等多重技術領域之整合型與微小化系統製造技術。近年來，我國正以既有的微電子技術和發展中的微機電系統技術與微機械精密加工技術為基礎，整合學術界，研究單位及相關業界公司等相關單位之研究及開發技術和製造能力，致力於微系統核心技術及微機電晶片實現，並進行微型結構、微型元件及微型系統技術開發，以提升學界研究及先進開發之能力，促進新興產業發展。本實驗室從基本紅外線微感測元件出發，規劃一系列微光機電系統之核心關鍵技術，與投入微光機電相關之研究、元件之微加工設計及至製作等核心技術。並協助開發微小化之產業及縮短業界新產品開發時程，加入我國新興MOEMS先進技術開發之研究行列 。
電話： 04-7232105 ext.7810 傳真： 04-7211149
郵寄地址：彰化市師大路2號 國立彰化師範大學機電工程學系
- 電子郵件：hilbert@cc.ncue.edu.tw
- State of the Art of MOEMS.